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詳細(xì)介紹
所謂半導(dǎo)體電子潔凈車間,指的是潔凈度在10萬級標(biāo)準(zhǔn)以上的車間,主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計算。
根據(jù)潔凈度不同分為100級(小于3.5個),1000級(小于35個),10000級(小于350個),100000級(小于3500個)。
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