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所謂半導(dǎo)體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級標(biāo)準(zhǔn)以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。
根據(jù)潔凈度不同分為100級（小于3.5個），1000級（小于35個），10000級（小于350個），100000級（小于3500個）。
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